600係列光刻機 —— IC前道製造


SSA600/20

SSC600/10

SSB600/10

SSX600係列步進掃描投影光刻機采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應調焦調平技術,以及高速高精的自減振六自由度工件台掩模台技術,可滿足IC前道製造90nm、110nm、280nm關鍵層和非關鍵層的光刻工藝需求。該設備可用於8寸線或12寸線的大規模工業生產。
   主要技術參數

型號 SSA600/20 SSC600/10 SSB600/10
分辨率 90nm 110nm 280nm
曝光光源 ArF excimer laser KrF excimer laser i-line mercury lamp
鏡頭倍率 1:4 1:4 1:4
矽片尺寸 200mm或300mm 200mm或300mm 200mm或300mm