半導體產線搬運機器人 —— 智能片盒運輸/搬運


ATR500

APR500

ATR500智能片盒運輸設備,能夠自動將最多4盒8寸/12寸片盒在工廠不同區域中進行運輸;APR500智能片盒搬運設備,能夠攜帶兩盒12寸片盒,並將其搬運至工廠不同區域,如貨架、機台等。智能的避障功能使之尤其能適用於人車協作的生產環境,配置有RFID傳感器,能夠與工廠生產管理係統進行交互。
   產品特征

● 靈活性高

● 適用於高淨化等級廠房

● 運載量大

● 操作簡便

● 物料可追溯

● 安全性高

   主要技術參數

型號

ATR500 

APR500 

運載容量

4盒滿載200mm/300mm Storage Box或FOUP兩者可兼容

2盒滿載300mm FOUP

引導方式

激光智能引導

激光智能引導

移動速度

 最高1.3 m/s

 最高0.8 m/s