長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


SOM255/10

SOM245/10

SOM200係列長短寸測量設備配合光刻機,用於長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量。
   產品特征

● 多功能測量,長寸測量同時兼容CD/Overlay測量及光刻膠膜厚測量

● 高測量精度,CD測量重複性30nm,TP測量重複性280nm,滿足高分辨率光刻的測量需求

● 高測量效率,采用橋式結構,更穩定更高速

● 高效的溫度控製係統

● 快速靈活的客製化服務

   主要技術參數

 型號

SOM245/10 

 SOM255/10

 CD測量重複性

 30nm@3Sigma

 30nm@3Sigma

CD測量複現性

50nm@3Sigma 

 50nm@3Sigma

 TP測量重複性

 280nm@3Sigma

300nm@3Sigma

 TP測量複現性

400nm@3Sigma 

450nm@3Sigma