300係列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices製造


SSB300

SSB320

SSB380

SSB300/30投影光刻機適用於2-6英寸基底LED的PSS和電極光刻工藝,該設備具有高分辨率、高線寬均勻性等特點;SSB320/10投影光刻機專用於LED生產中芯片(Chip)製作光刻工藝,采用超大曝光視場,通過掩模優化設計減少曝光場,減少重複芯片損失,顯著提高產能。
   產品特征

● 高分辨率,分辨率可達0.8μm

● 高速在線MAPPING技術

● 高精度拚接

● 多尺寸基底自適應切換

● 高產能

● 高精度套刻

● 完美匹配ALIGNER

   主要技術參數
 型號  SSB300  SSB320  SSB380
 分辨率  0.8μm 2μm  1μm
 曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
 基底尺寸  2~6 inches  2~6 inches  2~6 inches
 工藝應用  支持LED PAD/PSS工藝 支持LED PAD工藝 支持LED PAD工藝

 可選配置

 背麵對準和可變狹縫(Variable Slit)

 背麵對準和可變狹縫(Variable Slit)

 背麵對準和可變狹縫(Variable Slit)